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ICP光譜儀是當前光譜分析中最迅速最靈敏的一種儀器。

　　ICP光譜儀包括以下幾個主要部分：

　　1、入射狹縫:

　　在入射光的照射下形成光譜儀成像系統的物點。

　　2、準直元件:

　　使狹縫發出的光線變為平行光。該準直元件可以是一獨立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上，如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。

　　3、色散元件:

　　通常采用光柵，使光信號在空間上按波長分散成為多條光束。

　　4、聚焦元件:

　　聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點對應于一特定波長。

　　5、探測器陣列：

　　放置于焦平面，用于測量各波長像點的光強度。該探測器陣列可以是ccd陣列或其它種類的光探測器陣列。

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